※ 引述《dcsr (風之股動)》之銘言： : X-ray測厚儀 不知道誰能提供原理 這樣類似的資料 : 從原子為什麼吸收 能量 : 還有機器裡面大概的構造 : 希望有好心人可以提供 市面上用xray來測膜厚是利用X射線的能量來激發樣品中的金屬元素， 這樣衣來會使它產生特徵X射線螢光(也可以說是二次射線)， 接著所回饋的二次螢光通過檢測器檢測到螢光的強度來計算金屬鍍層的厚度。 一般是屬於非破壞，快速簡便的優點。 市面上可以看到檢測的範圍大約從0.01 到100μm，根據元素不同會有所差異。 假設把Au（電鍍層）、Cu（材料）的X射線強度關係。 由此例可知，距離表面越深的部分，其產生的X射線越少。 這是因為原X射線被表面所吸收，很難透過物質內部深處， 同時，所發生的螢光X射線受到表面層的吸收，不容易從深層逃逸， 這是二者的複合效果。 因此，當表面層膜厚超過一定厚度時，X射線將不能透過， 同時，螢光X射線強度也不再發生變化。該厚度稱之為試樣的無限厚。 該無限厚的厚度因物質的成分和密度的不同而有差異。 如果是金屬的話是微米級（數十到數百μm），樹脂等為數mm的厚度。 該現象與螢光X射線的能量也有關係，能量高的螢光X射線也可以從深層逃逸出來， 但是能量低的螢光X射線很難從深層逃逸出來。螢光X射線的能量與週期率相關， 在輕元素中，原子序號越小，其螢光X射線的能量越小，無限厚也就變得越薄。 -- 我每天靠北靠目 但對生活還是很有熱誠~~~ --

※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 59.124.29.178