作者billysura (小鬼)
看板Chemistry
標題[問題] RCA clean 中SC1各成分的分布狀況
時間Tue Jan 7 21:22:05 2014
最近在工作上遇到一個問題
就是半導體製程中SC1 clean (NH4OH+H2O2+H2O)
溫度約為40~50度
我的疑問是裡面的成分是否為:
雙氧水化學反應式
H2O2->H2O+O2
氨水化學反應式
(1)NH4OH->NH4+ + OH-
(2)NH4OH->NH3+H2O
到底氨水應該是會解離還是會形成NH3呢?
希望先進可以替小弟解惑一下?
感激不盡
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