作者web1379 (神)
看板Master_D
標題[請益] ITO玻璃蝕刻
時間Fri Oct 12 10:36:41 2007
想請問大家有哪家廠商有再幫忙蝕刻ITO pattern
或者有哪家廠商有賣蝕刻液(穩定)?
因為自己配的蝕刻液很不穩定,常常過蝕刻,實在很痛苦...
謝謝大家幫忙^^
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◆ From: 140.113.190.204
1F：推 Jinuse:這變因太多了吧 請問你用的蝕刻方式是什麼 溫度 種類 濃度 10/12 10:41
2F：→ Jinuse:這可以微調的 10/12 10:42
3F：→ Jinuse:線寬也跟過蝕刻的忍受程度有關係吧 10/12 10:42
4F：推 web1379:補充 我是用氯化鐵加鹽酸5% 溫度75度 線寬40um 10/12 10:49
5F：→ Jinuse:可以試試稀釋過的王水 溫度只要四十幾 蝕刻完會很準 10/12 10:52
6F：推 konly:原po說的 要是猜的沒錯 蝕刻會很快 因為我們現在也用這 10/12 21:44
7F：→ konly:建議改成稀鹽酸+硝酸 以及檢查你的光阻是否檔的住 10/12 21:45
8F：→ konly:有時候光阻也是一個小問題 不過還是你的蝕刻液該換一下 10/12 21:46
9F：→ konly:蝕刻過快 有時候你藥水穩定性不穩 秒數差一點 就會吃過頭 10/12 21:47
10F：→ konly:所以還是換稀鹽酸+硝酸那種 雖然蝕刻速率慢 但至少吃的準 10/12 21:48
11F：→ konly:比較不會發生嚴重吃過頭的現象 10/12 21:49
12F：→ konly:另外可以不用加溫 因為加溫會加速反應.常溫雖久但幾乎不過頭 10/12 21:50
13F：→ fives:玻璃經過熱處理也能抑制側蝕喔 10/12 22:43
14F：推 konly:如果在意ITO膜的特性 不介意熱處理 尤其是超過300度以上 10/12 23:20
15F：→ konly:高溫熱處理ITO片電阻會升高,雖然ITO成長要超過200度才是單晶 10/12 23:20
16F：→ konly:不是介意，是不建議 10/12 23:22