作者EosMaster (EosMaster)
看板Physics
標題[請益] 詢問在台灣研究單位VLS法長Si
時間Wed Jan 29 00:38:31 2014
目前是以半導體元件作為研究題目，透過文獻知道有人用過VLS長Si柱，想請問在台灣的
哪裡奈米中心有這樣的一個儀器？
還請幫忙一下，目前平常我知道會接觸的都已確認沒有了。
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 180.176.113.52
1F：→ harrey810719:我們實驗室有在做，我以為一般有CVD的都能做？ 01/29 00:41
2F：→ harrey810719:除了silane比較毒以外，觸媒靠蒸鍍或是塗NPs都不難 01/29 00:42
3F：→ EosMaster:謝謝可否用站內信詢問些細節內容？ 01/29 00:53