作者homelan (小教練)
看板Physics
標題[問題] 電子束轟擊造成積碳原因
時間Mon Jun 29 00:17:12 2015
大家好
一般我們使用SEM通常在一定的真空下
但經過電子束長時間的轟擊會發現表面累積一些物質
查了一下網路大多說是積碳
但這些碳從何而來 ？
在多少真空環境下容易生成 ？
因為google不到相關文獻
希望有相關領域高手幫忙解答一下
感謝
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1F：推 ansen0988: 那是樣品燒焦吧06/29 00:57
2F：推 FunkyMajik: 目前所有類型的真空幫浦對氫氣、部分碳氫化合物、一06/29 01:41
3F：→ FunkyMajik: 氧化碳、二氧化碳等的抽氣效果並不理想，超高真空用RG06/29 01:41
4F：→ FunkyMajik: A檢測殘餘氣體這幾種荷質比會特別明顯。而電子束可以06/29 01:41
5F：→ FunkyMajik: 把分子鍵結打斷，因此會造成碳的沈積。06/29 01:41
6F：→ homelan: 那使用ion pump是有效的手段嗎 ？06/29 07:09
※ 編輯: homelan (36.237.35.146), 06/29/2015 07:10:33
7F：→ homelan: 我的經驗是使用ion pump後積碳速速似乎變慢 06/29 07:13
8F：推 FunkyMajik: 當然會有效阿..一般只用turbo即使加上bake chmaber的 06/29 09:29
9F：→ FunkyMajik: 過程..能到1*10-9torr的壓力就很了不起了..後續就是要 06/29 09:30
10F：→ FunkyMajik: 靠ion pump才能進-10的真空..一般SEM sample chamber 06/29 09:32
11F：→ FunkyMajik: 頂多到-7的真空而已，含碳化合物還是一大堆 06/29 09:33
12F：→ FunkyMajik: 不過SEM裡ion pump是接在column的部分，效果也是有限 06/29 09:34
13F：→ homelan: 大致上了解 我會用RGA去測試一下 06/29 12:43
14F：推 FunkyMajik: 處理樣品時若有有機溶劑要記得等完全揮發再放進去 06/30 00:17