作者gatsu (william)
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標題[新聞] 川寶、志聖 攻3D IC曝光機
時間Wed Apr 1 19:12:53 2015
川寶、志聖 攻3D IC曝光機
2015-04-01 03:49:46經濟日報 記者李珣瑛／新竹報導
為協助台灣設備廠搶進3D IC曝光機市場，國研院儀科中心昨（31）日發表全台第一套在
地化、自主設計製造的步進式曝光機投影鏡頭，預計今年底可以完成曝光機光源模組開發
，設備廠川寶（1595）、志聖、東捷及旭東等，都有意投入生產。
儀科中心昨天舉辦「半導體製程設備關鍵元組件展示暨招商說明會」，發表相關研發成果
，期望累積的技術能量與半導體設備產業串聯，帶動上下游關鍵零組件在地化發展。
http://udn.com/news/story/7254/808388-川寶、志聖-攻3D-IC曝光機
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1F：→ gatsu: 國產 STEPPER ?!!! 04/01 19:13
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3F：推 stosto: 別鬧了.是要做哪一層 04/01 20:03
4F：→ jengmei: 醫療用曝光機有機會拉 洗洗睡 04/01 22:58
5F：→ simpal0221: IMM一台NXT30~35E起跳，現在EUV突破50E大關...上面講 04/02 01:36
6F：→ simpal0221: 到的這些公司想做甚麼部分?是.11的曝光機嗎? 04/02 01:37