作者justtoothick (負八)
看板comm_and_RF
標題[問題] 想請教半導體設備相關的問題
時間Mon Jan 12 12:02:06 2015
想請教一下半導體設備達人
小弟我現在就職於以turbo pump維修為主的公司
客戶大部分都是半導體廠，目前知道的部門有TF,DIFFUSION, ETCH, CVD
從他們公司來的pump常常會有很多製程物沉積在上面
想請問這些沉積物主要可以分為哪幾種呢?(可以從顏色或其他特徵來區分嗎?)
那半導廠在保養機台的時候，是否有特定的溶劑去對機台進行清理呢?
有的話是哪些溶劑呢?(應該不同製程有對應不同的溶劑吧?!)
希望知道的大大可以分享一下
謝謝
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 219.80.66.91
※ 文章網址: https://webptt.com/m.aspx?n=bbs/comm_and_RF/M.1421035328.A.E3A.html