作者IpcmanI (艾德森)
看板Chemistry
標題[問題] 選擇性蝕刻
時間Thu Oct 7 10:39:01 2010
各位版友好:
小弟有個問題請問
有關於一個Al 跟Al2O3(氧化鋁)的選擇性蝕刻
也就是想移除氧化鋁但又不損耗鋁的結構
在下想請問
是否有人知道有其化學溶劑可以作到
或者該去翻閱哪本書或哪裡找尋資訊
若有違版規自D
謝謝
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.115.42.220
1F：→ dhtsai:銅油可嗎 10/07 12:23
2F：推 tgyeh:應該不行 唯一可以的是用物理性研磨 使用化學方式將Al2O3 10/07 22:06
3F：→ tgyeh:腐蝕的同時就會將Al氧化成Al2O3 另外使用物理性研磨也要 10/07 22:07
4F：→ tgyeh:注意研磨後Al接觸到空氣的氧化現象 10/07 22:07
5F：→ tgyeh:sorry 我說的不行是指使用化學藥劑 10/07 22:08
6F：→ IpcmanI:銅油成分同樣會跟鋁或氧化鋁作用嗎? 10/09 14:36
7F：→ IpcmanI:因為我的試片有結構,用研磨的方式似乎不太可以 10/09 14:37
8F：推 Electrolyte:去氧化鋁不是都用氫氟酸嗎? 10/10 22:20