作者IpcmanI (艾德森)
看板Chemistry
标题[问题] 选择性蚀刻
时间Thu Oct 7 10:39:01 2010
各位版友好:
小弟有个问题请问
有关於一个Al 跟Al2O3(氧化铝)的选择性蚀刻
也就是想移除氧化铝但又不损耗铝的结构
在下想请问
是否有人知道有其化学溶剂可以作到
或者该去翻阅哪本书或哪里找寻资讯
若有违版规自D
谢谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.115.42.220
1F：→ dhtsai:铜油可吗 10/07 12:23
2F：推 tgyeh:应该不行 唯一可以的是用物理性研磨 使用化学方式将Al2O3 10/07 22:06
3F：→ tgyeh:腐蚀的同时就会将Al氧化成Al2O3 另外使用物理性研磨也要 10/07 22:07
4F：→ tgyeh:注意研磨後Al接触到空气的氧化现象 10/07 22:07
5F：→ tgyeh:sorry 我说的不行是指使用化学药剂 10/07 22:08
6F：→ IpcmanI:铜油成分同样会跟铝或氧化铝作用吗? 10/09 14:36
7F：→ IpcmanI:因为我的试片有结构,用研磨的方式似乎不太可以 10/09 14:37
8F：推 Electrolyte:去氧化铝不是都用氢氟酸吗? 10/10 22:20