作者pohao830 (阿拉雷)
看板Chemistry
標題[實驗] 三氧化鎢之EDS的peak
時間Mon Mar 12 21:36:03 2012
小弟目前以sputtering方式濺鍍WO3薄膜
做出來的薄膜為透明
進行了著褪色實驗也正常
因改變不同製程
所以將薄膜拿去量測SEM也順便量了EDS
但EDS之peak似乎有點奇怪
為什麼鎢的強度會比氧強?
且Atomic% 也是鎢比氧多 (多了兩倍多)
還是說這是正常的?
但是這是為什麼呢?
是否有人有類似的經驗
可以給小弟建議
感謝~
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.125.31.203
1F：推 alturiak:EDS看的是元素放射X-ray的強度，重元素比輕元素易放出 03/12 22:57
2F：→ alturiak:你要看定量不該拿O去當參考點，畢竟環境常常有氧化物 03/12 22:58
3F：→ alturiak:不然就是要做背景扣除的實驗 03/12 23:00
4F：→ pohao830:恩恩...peak部分大概了解了.那數據部分(atomic%)怎麼會是 03/12 23:11
5F：→ pohao830:鎢比氧多呢? (66% ： 34%) 03/12 23:11