作者pohao830 (阿拉雷)
看板Chemistry
标题[实验] 三氧化钨之EDS的peak
时间Mon Mar 12 21:36:03 2012
小弟目前以sputtering方式溅镀WO3薄膜
做出来的薄膜为透明
进行了着褪色实验也正常
因改变不同制程
所以将薄膜拿去量测SEM也顺便量了EDS
但EDS之peak似乎有点奇怪
为什麽钨的强度会比氧强?
且Atomic% 也是钨比氧多 (多了两倍多)
还是说这是正常的?
但是这是为什麽呢?
是否有人有类似的经验
可以给小弟建议
感谢~
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.125.31.203
1F：推 alturiak:EDS看的是元素放射X-ray的强度，重元素比轻元素易放出 03/12 22:57
2F：→ alturiak:你要看定量不该拿O去当参考点，毕竟环境常常有氧化物 03/12 22:58
3F：→ alturiak:不然就是要做背景扣除的实验 03/12 23:00
4F：→ pohao830:恩恩...peak部分大概了解了.那数据部分(atomic%)怎麽会是 03/12 23:11
5F：→ pohao830:钨比氧多呢? (66% ： 34%) 03/12 23:11