作者samhaung (小楓)
看板Electronics
標題Fw: [問題] Alpha-step IQ surface profiler縱向解析
時間Thu Oct 3 12:54:51 2013
※ [本文轉錄自 NTUEE_NDFSL 看板 #1IJFTe3z ]
作者: samhaung (小楓) 看板: NTUEE_NDFSL
標題: [問題] Alpha-step IQ surface profiler縱向解析
時間: Thu Oct 3 12:49:41 2013
小弟我最近在使用這台儀器去量測薄膜的厚度,但在設定參數中關於縱向解析度的問題,
有一個sensor range的參數設定,我是設定20um/1.19pm,我想請問後一個數值1.19pm是
解析度嗎?又想請問它是一個接觸式的表面量測,它的解析度有辦法到這麼好嗎?pm等級?
小弟我是覺得有點太誇張,還請各路高手替小弟解答.感激萬分~拜託了
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◆ From: 140.118.202.141
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※ 轉錄者: samhaung (140.118.202.141), 時間: 10/03/2013 12:54:51
1F：→ jamtu:應該是resolution是1.19picometer沒錯 10/03 16:01
2F：→ jamtu:然後最大可以看到20um 10/03 16:01
3F：→ jamtu:大概是不到兩百萬的dynamic range 10/03 16:02
4F：→ jamtu:至於物理上看到如何 就要請專業的了 10/03 16:02