作者samhaung (小枫)
看板Electronics
标题Fw: [问题] Alpha-step IQ surface profiler纵向解析
时间Thu Oct 3 12:54:51 2013
※ [本文转录自 NTUEE_NDFSL 看板 #1IJFTe3z ]
作者: samhaung (小枫) 看板: NTUEE_NDFSL
标题: [问题] Alpha-step IQ surface profiler纵向解析
时间: Thu Oct 3 12:49:41 2013
小弟我最近在使用这台仪器去量测薄膜的厚度,但在设定参数中关於纵向解析度的问题,
有一个sensor range的参数设定,我是设定20um/1.19pm,我想请问後一个数值1.19pm是
解析度吗?又想请问它是一个接触式的表面量测,它的解析度有办法到这麽好吗?pm等级?
小弟我是觉得有点太夸张,还请各路高手替小弟解答.感激万分~拜托了
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◆ From: 140.118.202.141
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※ 转录者: samhaung (140.118.202.141), 时间: 10/03/2013 12:54:51
1F：→ jamtu:应该是resolution是1.19picometer没错 10/03 16:01
2F：→ jamtu:然後最大可以看到20um 10/03 16:01
3F：→ jamtu:大概是不到两百万的dynamic range 10/03 16:02
4F：→ jamtu:至於物理上看到如何 就要请专业的了 10/03 16:02