各位前輩大家好 小弟最近在看參考文獻 其題目為: An accurate compact model for CMOS cross-shaped Hall effect sensors 有一段不是很理解 緒論提到的結構設計如下 https://imgur.com/Ftb5OGQ 在P型基板上摻雜五價元素製作十字形的N型井作為霍爾板 且在四端進一步重摻雜降低電阻 且以對角成對形成電壓源單位與霍爾電壓量測單位 問題是文獻中成品圖如下 https://imgur.com/02y7mbm 文獻中說明: The resulting module has five electrical terminals (North, East, West, South and Bulk) and one external quantity as an input (Bz) 右下角設置的電極似乎定義為Bulk 後續量測時,對於該接點也只提到: The Bulk of the device is grounded. 基本的製程都能理解 但並非MOS結構的情況下 為何要專門為基板設計電極並且接地? 由於我實驗製作的感測器並沒有此設計 但也能正常運作... 希望能幫我解惑 感激不盡 --

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