各位前辈大家好 小弟最近在看参考文献 其题目为: An accurate compact model for CMOS cross-shaped Hall effect sensors 有一段不是很理解 绪论提到的结构设计如下 https://imgur.com/Ftb5OGQ 在P型基板上掺杂五价元素制作十字形的N型井作为霍尔板 且在四端进一步重掺杂降低电阻 且以对角成对形成电压源单位与霍尔电压量测单位 问题是文献中成品图如下 https://imgur.com/02y7mbm 文献中说明: The resulting module has five electrical terminals (North, East, West, South and Bulk) and one external quantity as an input (Bz) 右下角设置的电极似乎定义为Bulk 後续量测时,对於该接点也只提到: The Bulk of the device is grounded. 基本的制程都能理解 但并非MOS结构的情况下 为何要专门为基板设计电极并且接地? 由於我实验制作的感测器并没有此设计 但也能正常运作... 希望能帮我解惑 感激不尽 --

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