作者asjojo (!@#)
看板Master_D
標題[請益] BOE 與 DHF 配方
時間Wed May 16 17:11:52 2007
請問一下蝕刻用劑
BOE 是 HF : NH4F = ? : ?
DHF 是 HF : H2O = ? : ?
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我查到的資料
BOE 是 HF : NH4F = 1 : 6
而 DHF 是 HF : H2O = 1 : 100
另一個 DHF 是 HF : H2O = 1 : 10
不知道哪個對?
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.16.95
1F：→ a9368b:交大奈米中心DHF HF : H2O = 1:100,BOE NH4F：HF=6：1 05/16 21:32
2F：→ RTA:想到就頭皮發麻的液體 05/17 11:52
3F：推 aclgpo:感謝感謝~ 05/17 12:59