作者asjojo (!@#)
看板Master_D
标题[请益] BOE 与 DHF 配方
时间Wed May 16 17:11:52 2007
请问一下蚀刻用剂
BOE 是 HF : NH4F = ? : ?
DHF 是 HF : H2O = ? : ?
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我查到的资料
BOE 是 HF : NH4F = 1 : 6
而 DHF 是 HF : H2O = 1 : 100
另一个 DHF 是 HF : H2O = 1 : 10
不知道哪个对?
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.16.95
1F：→ a9368b:交大奈米中心DHF HF : H2O = 1:100,BOE NH4F：HF=6：1 05/16 21:32
2F：→ RTA:想到就头皮发麻的液体 05/17 11:52
3F：推 aclgpo:感谢感谢~ 05/17 12:59