作者shawn1116 (大同)
看板Master_D
標題[請益] 量凹洞深度
時間Fri Oct 5 13:50:17 2012
我這邊有個sample深度大概800nm 長度大概4um
請問有什麼儀器可以量到凹洞深度嗎?
AFM的精準度好像只能500nm以下?
因為材料的關係不能放到SEM腔體裡面
想請問還有什麼儀器可以量到深度
謝謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.115.41.157
1F：推 huges0111:surface profiler, 或稱a-steper. 10/05 14:24
2F：推 shadowppt:阿法 10/05 21:32
3F：推 Chopsticks:keyence 10/05 21:44
4F：推 shimadzu:Zygo's tool, we buy it,we can help you to measure 10/06 12:35
5F：推 asdfg5678:台大奈米中心的 NANO INDENTOR 可以打深度順便測E 10/08 17:05