作者shawn1116 (大同)
看板Master_D
标题[请益] 量凹洞深度
时间Fri Oct 5 13:50:17 2012
我这边有个sample深度大概800nm 长度大概4um
请问有什麽仪器可以量到凹洞深度吗?
AFM的精准度好像只能500nm以下?
因为材料的关系不能放到SEM腔体里面
想请问还有什麽仪器可以量到深度
谢谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.115.41.157
1F：推 huges0111:surface profiler, 或称a-steper. 10/05 14:24
2F：推 shadowppt:阿法 10/05 21:32
3F：推 Chopsticks:keyence 10/05 21:44
4F：推 shimadzu:Zygo's tool, we buy it,we can help you to measure 10/06 12:35
5F：推 asdfg5678:台大奈米中心的 NANO INDENTOR 可以打深度顺便测E 10/08 17:05