作者awsezxcd (最強地球人-克林)
看板Master_D
標題[請益] 關於蝕刻GaN問題
時間Mon Dec 24 13:22:10 2012
請問我有一批以圖形化藍寶石基板做底的藍光LED chip
已經打上電極,我想知道圖形化藍寶石基板的結構,有甚麼溶劑可以
洗掉GaN而不吃到藍寶石的嗎?
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◆ From: 140.118.181.92
1F：推 kofbook:GaN的話 用HCl、硫磷酸混合液都可以吃 12/25 14:16
2F：→ kofbook:對於Sapphire有沒有蝕刻我就不清楚了 12/25 14:17
3F：→ kofbook:電極假如想洗掉的話 先用王水 12/25 14:17
4F：推 shadowppt:紫外線+氫氧化鉀 12/25 15:42
5F：→ awsezxcd:shadow大請問用紫外加KOH就可以得到完整的藍寶石圖型了? 12/26 01:01
6F：→ awsezxcd:可否站內信比較詳細的做法呢? 12/26 01:01