作者awsezxcd (最强地球人-克林)
看板Master_D
标题[请益] 关於蚀刻GaN问题
时间Mon Dec 24 13:22:10 2012
请问我有一批以图形化蓝宝石基板做底的蓝光LED chip
已经打上电极,我想知道图形化蓝宝石基板的结构,有甚麽溶剂可以
洗掉GaN而不吃到蓝宝石的吗?
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.118.181.92
1F：推 kofbook:GaN的话 用HCl、硫磷酸混合液都可以吃 12/25 14:16
2F：→ kofbook:对於Sapphire有没有蚀刻我就不清楚了 12/25 14:17
3F：→ kofbook:电极假如想洗掉的话 先用王水 12/25 14:17
4F：推 shadowppt:紫外线+氢氧化钾 12/25 15:42
5F：→ awsezxcd:shadow大请问用紫外加KOH就可以得到完整的蓝宝石图型了? 12/26 01:01
6F：→ awsezxcd:可否站内信比较详细的做法呢? 12/26 01:01