作者a5692673 (月炎)
看板Master_D
標題[請益] 非晶矽濕性蝕刻配方請教
時間Mon Nov 25 11:16:50 2013
各位好
請問一下ITO玻璃上的非晶矽
有甚麼效果好的濕性蝕刻袪除
目前我知道可以用KOH水溶液
還有HF+HNO3+CH3COOH
兩種配方
但HF這個配方會吃掉玻璃 不考慮
不知道還有甚麼好的配方??
又不會把玻璃吃掉
謝謝
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◆ From: 120.126.11.233
1F：→ FcuKobe:126 如此水準 11/25 21:23