作者a5692673 (月炎)
看板Master_D
标题[请益] 非晶矽湿性蚀刻配方请教
时间Mon Nov 25 11:16:50 2013
各位好
请问一下ITO玻璃上的非晶矽
有甚麽效果好的湿性蚀刻袪除
目前我知道可以用KOH水溶液
还有HF+HNO3+CH3COOH
两种配方
但HF这个配方会吃掉玻璃 不考虑
不知道还有甚麽好的配方??
又不会把玻璃吃掉
谢谢
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◆ From: 120.126.11.233
1F：→ FcuKobe:126 如此水准 11/25 21:23