作者davidzwh (de luxe)
看板Tech_Job
標題Fw: [徵求] 任何有關"黃光製程"問題
時間Thu Aug 14 13:20:12 2014
※ [本文轉錄自 Wanted 看板 #1Jx1uRhF ]
作者: davidzwh (de luxe) 看板: Wanted
標題: [徵求] 任何有關"黃光製程"問題
時間: Thu Aug 14 10:25:25 2014
小弟有幸與台G黃光權威吳總會面8hr，強力徵求有關"黃光製程"任何疑難雜症
回饋鄉民可代為詢問 並一一回覆製程的問題，感謝！
(一) 製程概觀
參考書籍: Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology by Xiao
半導體製程主要分六個module, 分別是: 微影 (lithography) , 蝕刻 (etching) ,
薄膜 (thin film), 擴散 (diffusion), 離子植入 (ion implant),
與 化學機械研磨 (chemical mechanical polishing).
可以將電晶體的製程想成蓋房子,首先製作STI (shallow trench isolation)區分
發揮電性的silocon與絕緣的silicon oxide.植入離子產生N/P well.製作poly
gate當做電晶體的開關,接著製作contact,填入金屬稱為plug,一層層的metal line
蓋上去成為電路,每層metal layer間以via連接,最後有passivation layer保護.
習慣上把contact以前稱為FEOL (front end of line,前段),contact稱為
MEOL (middle end of line,中段),metal開始稱為BEOL (Back end of line,
後段).
其中,微影也常被稱為黃光,一部分原因是因為光阻中的PAG (photo-induced acid
generator,曝光後產生酸,接著採取連鎖反應.)怕白光,所以無塵室內微影區是以黃
光照明.黃光工程師的工作是以光阻曝光產生固定的pattern後,接著利用蝕刻將其
轉印在晶圓上(如oxide, poly, metal, via layer, layer前的名字代表將產生半導體內
的哪個單位).也有可能是光阻曝光後, 利用implant將ion植入silicon產生電性
(implant layer,其中包含: well, LDD, S/D, cell, I/O).與photo (黃光)合作關係
最密切的就是etch與implant.
(二) 黃光工作內容
(二-1)
參考書籍:
1. Sub-Half-Micron Lithography for ULSls by K.SUZUKI
2. Fundamental Principles of Optical Lithography: The
Science of Microfabrication by Mack
3. Advanced Processes for 193-nm Immersion Lithography
by Y. Wei and R. L. Brainard
4. Optical Lithography: Here is Why by B. J. Lin
5. Microlithography: Science and Technology by K. Suzuki and etl.
在介紹內容之前,要先解釋一下光罩的區別.依據製程與layout的差別,我們將光罩分
為Bright field Dark tone如Oxide, poly layer,與Dark field bright tone如
metal, via layer.簡單的想法就是,以oxide為例,我們要將大部分的光阻都曝開
才能往下etch製作STI,所以稱為bright field.對metal而言,我們是將少部分的光阻
曝開往下etch,接著填入metal,所以稱為dark field.了解這個差別,較容易進
一步了解各個layer所需要的pattern與解defect的recipe的調整.
--
Dream as if you'll live forever.
Live as if you'll die today.
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 210.64.118.125
※ 文章網址: http://webptt.com/m.aspx?n=bbs/Wanted/M.1407983131.A.ACF.html
1F：推 viviecat: 恩～我只有幸跟便當店老闆會面十分鐘！！ 08/14 10:30
2F：→ likeair: 我有跟南部某鋼鐵業董事長出去玩過.... 08/14 10:38
3F：推 snowcoat: 樓上被南部某鋼鐵業董事長帶出去玩 (筆記) 08/14 10:55
4F：→ likeair: 錯了 是北部某鋼鐵業的特助帶去找南部某鋼鐵業董事長.. 08/14 10:56
5F：推 odahawk: 原來空叔是北部某鋼鐵業特助 (筆記) 08/14 10:58
6F：→ likeair: 我是被特助帶出去 08/14 11:07
7F：→ JoPaiCho: 3人行.... 08/14 11:08
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
※ 轉錄者: davidzwh (210.64.118.125), 08/14/2014 13:20:12
8F：推 sandyweill: 可以請吳總內薦嗎? 08/14 13:28
9F：→ saladim: EUV 跟 double patterning哪個比較有希望? 08/14 13:36
10F：推 mckinleyivan: 問一下他浸潤式顯影機的發展與前景 08/18 21:48
11F：→ mckinleyivan: 另外,如何穩定的把IQ focus keep在1-sigma內? 08/18 21:50
12F：→ mckinleyivan: 剩至更低,就是如何降低抓取foucs與曝光所需的時間 08/18 21:53