作者shimizu (清水)
看板Tech_Job
標題[請益] 離子槍用於PVD設備
時間Sat Dec 13 00:13:25 2014
請教一下
小弟最近剛接觸科技產業
拜訪一家在做光學鏡頭的公司 說是採用PVD設備 再搭配離子槍輔助
在玻璃上沉積
那一般半導體製程在晶圓的薄膜沉積 也會用到PVD
裡面也有離子槍嗎??
謝謝!!
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1F：→ zhanren: 沒有 12/13 00:24
3F：推 id49528013: 離子槍好像也可以用在蒸鍍機？ 12/13 01:39
4F：→ pinkowa: 電漿<--- 濺鍍機 12/13 01:46
5F：推 hmtsung: ion-Gun是助鍍用的，讓膜更結實，品質更好，不過要調參數 12/13 16:29
6F：→ shimizu: 所以半導體製程PVD有ion-Gun嗎?? 有大大私底下回信說有 12/13 21:41
7F：→ Swiss1003: 公司在南科嗎? 12/13 21:50
8F：推 fffkinyo: 雷射蒸鍍 12/16 12:59