作者shimizu (清水)
看板Tech_Job
标题[请益] 离子枪用於PVD设备
时间Sat Dec 13 00:13:25 2014
请教一下
小弟最近刚接触科技产业
拜访一家在做光学镜头的公司 说是采用PVD设备 再搭配离子枪辅助
在玻璃上沉积
那一般半导体制程在晶圆的薄膜沉积 也会用到PVD
里面也有离子枪吗??
谢谢!!
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1F：→ zhanren: 没有 12/13 00:24
3F：推 id49528013: 离子枪好像也可以用在蒸镀机？ 12/13 01:39
4F：→ pinkowa: 电浆<--- 溅镀机 12/13 01:46
5F：推 hmtsung: ion-Gun是助镀用的，让膜更结实，品质更好，不过要调参数 12/13 16:29
6F：→ shimizu: 所以半导体制程PVD有ion-Gun吗?? 有大大私底下回信说有 12/13 21:41
7F：→ Swiss1003: 公司在南科吗? 12/13 21:50
8F：推 fffkinyo: 雷射蒸镀 12/16 12:59