作者scitamehtam (新竹恐牙狼)
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標題[新聞] 中國首台EUV曝光機原型機正式出光 斥資4
時間Tue Jul 14 19:48:09 2026
https://news.cnyes.com/news/id/6532960
中國首台EUV曝光機原型機正式出光 斥資400億美元建構自主半導體鏈路
據《路透》與相關調查指出，位於深圳一座由中央科技委員會管理的保密設施內，首台全國
產化的極紫外光曝光機 (EUV) 原型機已成功啟動，並穩定產生 13.5 奈米波長的極紫外光
。報導稱，此進展意味著中國已在 EUV 技術鏈路上，從光源、光學系統到真空腔體實現初
步貫通。
相較於全球龍頭艾司摩爾 (ASML) 採用的 LPP(雷射激發電漿) 技術——即利用高功率雷射
轟擊錫滴，中國研發團隊選擇了 LDP(雷射誘導放電電漿)10 倍以上，具備系統體積更小、
功耗更低等優勢，有利於未來的規模化部署。
陸媒矽基 LIFE 報導稱，這項被外界稱為「北京曼哈頓計畫」的發展，背後有著龐大的資源
支撐。
投資規模：由國家科技部牽頭，整合華為、哈工大、上海光機所、清華大學及中科院等機構
，總投入金額估算達 370 億歐元 (約 400 億美元)。
專利技術：截至 2026 年 6 月，中國在 EUV 領域的專利申請量已累計超過 1200 件。
生產佈署：華為東莞基地預計於 2026 年第三季啟動 EUV 試驗性生產。
據報導，目前全球 7 奈米以下先進製程晶片均需依賴 EUV 技術，而 ASML 單台 EUV 設備
售價約 1.5 億美元。根據數據顯示，2026 年全球 EUV 相關市場規模約為 259.3 億美元，
目前台積電掌握全球約 56% 的 EUV 裝機量。
儘管中國已跨越光源門檻，但後續仍面臨極其嚴苛的挑戰，包括反射率要求極高的鉬 / 矽
布拉格反射鏡、光阻劑靈敏度，以及光罩檢測等工程瓶頸。
然而，在 EUV 量產前，中國已透過浸潤式深紫外光曝光機 (DUV) 配合自對準四重圖形技術
(SAQP)5 奈米級晶片的規模化量產，為先進製程提供了備援路徑。
報導稱，若 LDP 技術路徑最終證明能提供更高的功耗效率，將可能對現有以 ASML 為首的
供應鏈範式產生衝擊，並改變先進製程設備的市場稀缺紅利。
心得：
來自路透報導
這算是重大突破嗎？
每年這樣燒錢，也是大手筆
是框錢，還是真的想做大事
其實還沒很定論
兩年後看能不能量產
或許就比較明確了？
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1F：噓 Okubo7788: 人謀不臧的極致霸主 能撈救撈 36.228.113.64 07/14 19:56
2F：推 mayolane: 且聽龍吟聽幾年了 36.229.42.90 07/14 19:57
3F：推 sunnyhung: 醜聞曝光？ 111.80.35.137 07/14 20:27
4F：推 ariadne: 恭喜恭喜 以後別再喊被卡脖子 超噁心 39.14.32.183 07/14 20:31
5F：噓 atlaswhz: cnyes可以當成超譯外媒的中吹仔 1.161.174.9 07/14 21:02
6F：推 misson: 大概是修好武漢弘芯那台EUV的光源部分了 114.39.19.204 07/14 21:33
7F：噓 Rutschman: 這媒體就是中國傳聲筒 1.160.195.51 07/14 21:35
8F：推 Brioni: 這只是光源，要生產又不只是光源223.140.250.210 07/14 21:58
9F：推 Ron51320: 給中國一條路他就能鑿出神奇的發展路線 101.14.3.99 07/14 22:07
10F：噓 PoloHuang: 雙贏就是贏兩次 219.69.22.164 07/14 22:54
11F：→ douge: J20團隊吹了20年的喇叭結果全員被140.112.175.204 07/14 23:44
12F：→ douge: 習近平抓去關140.112.175.204 07/14 23:44
13F：→ douge: 鴻蒙系統到今天還在打手槍的地位140.112.175.204 07/14 23:45
14F：→ douge: 大概就這樣吧140.112.175.204 07/14 23:45
15F：噓 r40491101: …? 47.157.36.189 07/15 00:18
16F：噓 cityhunter04: 搞那麼久才弄出EUV??是拆哪裡偷渡 114.24.118.69 07/15 00:26
17F：→ cityhunter04: 來的設備啊… 114.24.118.69 07/15 00:26
18F：推 magic543: 剛剛才看到這影片，我猜一定有人不信118.150.227.123 07/15 06:24
19F：推 berton1: 發展EUV會不會是21世紀的美蘇星戰翻版？124.218.159.134 07/15 07:31
20F：→ scitamehtam: 講得好像euv很簡單做出來，某樓要不118.231.169.250 07/15 08:25
21F：→ scitamehtam: 要成立一家公司台版euv? 願意投資是118.231.169.250 07/15 08:25
22F：→ scitamehtam: 好事，國際戰略如此118.231.169.250 07/15 08:25
23F：→ rodion: 很可以啊 恭喜牆國璽營內循環 歡迎自由 136.226.241.21 07/15 09:21
24F：→ rodion: 世界更大力度的打壓"倒逼" 這樣我大牆國 136.226.241.21 07/15 09:22
25F：→ rodion: 還不飛上天! 136.226.241.21 07/15 09:22
26F：推 iop222456: 應該是收購比較舊的各種晶圓生產機台 42.72.115.186 07/15 09:35
27F：→ iop222456: 來拼裝吧 42.72.115.186 07/15 09:35
28F：噓 quartics: 400億美元好大的餅，大概有一半會被貪111.250.250.243 07/15 09:44
29F：→ quartics: 走111.250.250.243 07/15 09:44
30F：推 stonecold123: SB才相信中國技術 114.26.11.139 07/15 10:11
31F：→ Eric0605: 真的做出來 良率就會起來嗎？Intel表示 101.10.106.93 07/15 11:16
32F：→ Eric0605: EUV只是其中一個關鍵點 關鍵點還有很多 101.10.106.93 07/15 11:16
33F：→ ejru65m4: 國家很有錢 晶片騙完倒9成 換個材料繼續 114.136.150.98 07/15 11:22
34F：→ ejru65m4: 拿 114.136.150.98 07/15 11:22
35F：推 good5755: 這篇沒提到雷射功率 量產良率 詳細數據 223.137.97.3 07/15 12:08
36F：→ good5755: 都沒有要怎麼比較 組裝起來不難 困難點 223.137.97.3 07/15 12:09
37F：→ good5755: 在量產 223.137.97.3 07/15 12:09
38F：推 ll2233445566: 良率只有30嗎？114.137.244.213 07/15 12:45
39F：推 Aixtron: 先說佔地面積多大！曝光機光源難在小穩又 27.242.172.90 07/15 14:32
40F：→ Aixtron: compact，超大一台當無塵室不用花錢？ 27.242.172.90 07/15 14:32
41F：噓 Westzone: 科科，不騙騙韭菜傻子A股要怎麼割韭菜 1.161.154.82 07/15 15:39
42F：推 HAYABUSA1207: 畢竟背後是國家支持 預算無上限 27.247.10.245 07/15 18:11
43F：推 c928: 複製完成223.138.174.203 07/15 18:55
44F：推 cltang: 就算光源有了，鏡子造的出嗎？ 39.9.250.185 07/15 19:12
45F：推 herochang: 還要研發？不都手刻嘛 114.136.246.92 07/15 20:31
46F：推 ax113: 又可以騙國家補助了 114.35.42.41 07/15 20:54
47F：推 derekjohn: 業內光是EUV雷射源當前版本光每台四座P 114.42.191.153 07/16 00:50
48F：→ derekjohn: A的調整參數就幾千項外，加上軟體是跟 114.42.191.153 07/16 00:50
49F：→ derekjohn: 曝光機整合，那個工程量根本不是用錢就 114.42.191.153 07/16 00:50
50F：→ derekjohn: 可以搞定的事 114.42.191.153 07/16 00:50
51F：推 Smile365Day: 沒什麼好酸的，人家都可以做到火箭回 125.224.80.222 07/16 01:02
52F：→ Smile365Day: 收了 125.224.80.222 07/16 01:02
53F：推 callTM: ？ 台灣做一台不就不需要asml. 這篇是怎麼 104.32.94.114 07/16 01:40
54F：→ callTM: 回事？ 104.32.94.114 07/16 01:40
55F：推 user5566: 路透的原始內容根本不是這樣寫，講白了 211.23.66.206 07/16 02:40
56F：→ user5566: 就是引用路透+加油添醋。 211.23.66.206 07/16 02:40
57F：推 garlic1234: 很好啊，中吹快去買中國股票 1.169.212.19 07/16 03:52
58F：推 OSDim: 大家要支持中國把錢投入這個領域ㄚhehe 42.79.38.244 07/16 13:24
59F：推 darkholy: prototype 做得出來已經夠誇張啦 223.138.37.185 07/16 15:44
60F：→ kluwer2021: 已經很厲害了 114.137.88.161 07/17 08:22
61F：推 silver5566: 遼寧艦時也是一堆人說中國差很遠，結 106.107.237.32 07/17 09:57
62F：→ silver5566: 果人家現在連電磁彈射都有了 106.107.237.32 07/17 09:57
63F：→ mainsa: 不是有掏定律惹 還研發過時的EUV幹嘛 有 101.10.76.250 07/17 18:38
64F：→ mainsa: 時候就覺得他們大外宣真的廢到笑 101.10.76.250 07/17 18:38
65F：噓 pttnowash: 電磁彈射這種不切實際 還拿來讓人笑 159.26.119.228 07/17 19:14
66F：→ pttnowash: 美國都慢慢回歸蒸氣彈射了 159.26.119.228 07/17 19:15
67F：→ pttnowash: 美國真是落後阿 大大落後於中國 159.26.119.228 07/17 19:15
68F：推 chino32818: ASML的專利護城河有這麼容易繞過嗎@@ 111.240.95.170 07/18 02:00
69F：→ chino32818: ... 111.240.95.170 07/18 02:00
70F：→ pinkowa: 韜定律跟EUV又不衝突 沒聽過CFET嗎?223.139.191.114 07/18 05:49
71F：→ pinkowa: 到底這裡是科技板還是政治板? 不講科學喔223.139.191.114 07/18 05:50
72F：推 thern: 在中國講什麼專利，WHO CARE 118.170.186.97 07/18 06:10
73F：→ pinkowa: 專利是地方法，跨國專利生效是有前提的223.139.191.114 07/18 06:29
74F：推 kelune: 一堆弱智， 成天只看三民自； 這工藝幹趴 1.170.18.140 07/18 08:05
75F：→ kelune: 非台積的晶圓廠夠了。 以為台灣只有一間 1.170.18.140 07/18 08:05
76F：→ kelune: 晶圓廠 1.170.18.140 07/18 08:05
77F：→ water6: 台灣非台積晶圓廠早就被超越了…現在是ai+125.227.196.250 07/18 08:57
78F：→ water6: 非紅供應鏈紅利，中國做euv目的就是要前進125.227.196.250 07/18 08:57
79F：→ water6: 先進製程，對手只有台積，美國乾兒子有爸125.227.196.250 07/18 08:57
80F：→ water6: 爸撐腰不在同一個維度125.227.196.250 07/18 08:57
81F：→ gaowei16: 真的好強 101.10.94.118 07/18 10:31
82F：推 lavign: C919發動機都國產了 114.136.148.46 07/18 11:00
83F：推 squelch: 人家華為Hybrid bonding 技術跟設 101.8.91.7 07/18 14:14
84F：→ squelch: 備都是國產的，台灣設備反而都外國 101.8.91.7 07/18 14:14
85F：→ squelch: 的，寧可信其有 不可信其無 101.8.91.7 07/18 14:14