作者scitamehtam (新竹恐牙狼)
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标题[新闻] 中国首台EUV曝光机原型机正式出光 斥资4
时间Tue Jul 14 19:48:09 2026
https://news.cnyes.com/news/id/6532960
中国首台EUV曝光机原型机正式出光 斥资400亿美元建构自主半导体链路
据《路透》与相关调查指出，位於深圳一座由中央科技委员会管理的保密设施内，首台全国
产化的极紫外光曝光机 (EUV) 原型机已成功启动，并稳定产生 13.5 奈米波长的极紫外光
。报导称，此进展意味着中国已在 EUV 技术链路上，从光源、光学系统到真空腔体实现初
步贯通。
相较於全球龙头艾司摩尔 (ASML) 采用的 LPP(雷射激发电浆) 技术——即利用高功率雷射
轰击锡滴，中国研发团队选择了 LDP(雷射诱导放电电浆)10 倍以上，具备系统体积更小、
功耗更低等优势，有利於未来的规模化部署。
陆媒矽基 LIFE 报导称，这项被外界称为「北京曼哈顿计画」的发展，背後有着庞大的资源
支撑。
投资规模：由国家科技部牵头，整合华为、哈工大、上海光机所、清华大学及中科院等机构
，总投入金额估算达 370 亿欧元 (约 400 亿美元)。
专利技术：截至 2026 年 6 月，中国在 EUV 领域的专利申请量已累计超过 1200 件。
生产布署：华为东莞基地预计於 2026 年第三季启动 EUV 试验性生产。
据报导，目前全球 7 奈米以下先进制程晶片均需依赖 EUV 技术，而 ASML 单台 EUV 设备
售价约 1.5 亿美元。根据数据显示，2026 年全球 EUV 相关市场规模约为 259.3 亿美元，
目前台积电掌握全球约 56% 的 EUV 装机量。
尽管中国已跨越光源门槛，但後续仍面临极其严苛的挑战，包括反射率要求极高的钼 / 矽
布拉格反射镜、光阻剂灵敏度，以及光罩检测等工程瓶颈。
然而，在 EUV 量产前，中国已透过浸润式深紫外光曝光机 (DUV) 配合自对准四重图形技术
(SAQP)5 奈米级晶片的规模化量产，为先进制程提供了备援路径。
报导称，若 LDP 技术路径最终证明能提供更高的功耗效率，将可能对现有以 ASML 为首的
供应链范式产生冲击，并改变先进制程设备的市场稀缺红利。
心得：
来自路透报导
这算是重大突破吗？
每年这样烧钱，也是大手笔
是框钱，还是真的想做大事
其实还没很定论
两年後看能不能量产
或许就比较明确了？
--
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1F：嘘 Okubo7788: 人谋不臧的极致霸主 能捞救捞 36.228.113.64 07/14 19:56
2F：推 mayolane: 且听龙吟听几年了 36.229.42.90 07/14 19:57
3F：推 sunnyhung: 丑闻曝光？ 111.80.35.137 07/14 20:27
4F：推 ariadne: 恭喜恭喜 以後别再喊被卡脖子 超恶心 39.14.32.183 07/14 20:31
5F：嘘 atlaswhz: cnyes可以当成超译外媒的中吹仔 1.161.174.9 07/14 21:02
6F：推 misson: 大概是修好武汉弘芯那台EUV的光源部分了 114.39.19.204 07/14 21:33
7F：嘘 Rutschman: 这媒体就是中国传声筒 1.160.195.51 07/14 21:35
8F：推 Brioni: 这只是光源，要生产又不只是光源223.140.250.210 07/14 21:58
9F：推 Ron51320: 给中国一条路他就能凿出神奇的发展路线 101.14.3.99 07/14 22:07
10F：嘘 PoloHuang: 双赢就是赢两次 219.69.22.164 07/14 22:54
11F：→ douge: J20团队吹了20年的喇叭结果全员被140.112.175.204 07/14 23:44
12F：→ douge: 习近平抓去关140.112.175.204 07/14 23:44
13F：→ douge: 鸿蒙系统到今天还在打手枪的地位140.112.175.204 07/14 23:45
14F：→ douge: 大概就这样吧140.112.175.204 07/14 23:45
15F：嘘 r40491101: …? 47.157.36.189 07/15 00:18
16F：嘘 cityhunter04: 搞那麽久才弄出EUV??是拆哪里偷渡 114.24.118.69 07/15 00:26
17F：→ cityhunter04: 来的设备啊… 114.24.118.69 07/15 00:26
18F：推 magic543: 刚刚才看到这影片，我猜一定有人不信118.150.227.123 07/15 06:24
19F：推 berton1: 发展EUV会不会是21世纪的美苏星战翻版？124.218.159.134 07/15 07:31
20F：→ scitamehtam: 讲得好像euv很简单做出来，某楼要不118.231.169.250 07/15 08:25
21F：→ scitamehtam: 要成立一家公司台版euv? 愿意投资是118.231.169.250 07/15 08:25
22F：→ scitamehtam: 好事，国际战略如此118.231.169.250 07/15 08:25
23F：→ rodion: 很可以啊 恭喜墙国玺营内循环 欢迎自由 136.226.241.21 07/15 09:21
24F：→ rodion: 世界更大力度的打压"倒逼" 这样我大墙国 136.226.241.21 07/15 09:22
25F：→ rodion: 还不飞上天! 136.226.241.21 07/15 09:22
26F：推 iop222456: 应该是收购比较旧的各种晶圆生产机台 42.72.115.186 07/15 09:35
27F：→ iop222456: 来拼装吧 42.72.115.186 07/15 09:35
28F：嘘 quartics: 400亿美元好大的饼，大概有一半会被贪111.250.250.243 07/15 09:44
29F：→ quartics: 走111.250.250.243 07/15 09:44
30F：推 stonecold123: SB才相信中国技术 114.26.11.139 07/15 10:11
31F：→ Eric0605: 真的做出来 良率就会起来吗？Intel表示 101.10.106.93 07/15 11:16
32F：→ Eric0605: EUV只是其中一个关键点 关键点还有很多 101.10.106.93 07/15 11:16
33F：→ ejru65m4: 国家很有钱 晶片骗完倒9成 换个材料继续 114.136.150.98 07/15 11:22
34F：→ ejru65m4: 拿 114.136.150.98 07/15 11:22
35F：推 good5755: 这篇没提到雷射功率 量产良率 详细数据 223.137.97.3 07/15 12:08
36F：→ good5755: 都没有要怎麽比较 组装起来不难 困难点 223.137.97.3 07/15 12:09
37F：→ good5755: 在量产 223.137.97.3 07/15 12:09
38F：推 ll2233445566: 良率只有30吗？114.137.244.213 07/15 12:45
39F：推 Aixtron: 先说占地面积多大！曝光机光源难在小稳又 27.242.172.90 07/15 14:32
40F：→ Aixtron: compact，超大一台当无尘室不用花钱？ 27.242.172.90 07/15 14:32
41F：嘘 Westzone: 科科，不骗骗韭菜傻子A股要怎麽割韭菜 1.161.154.82 07/15 15:39
42F：推 HAYABUSA1207: 毕竟背後是国家支持 预算无上限 27.247.10.245 07/15 18:11
43F：推 c928: 复制完成223.138.174.203 07/15 18:55
44F：推 cltang: 就算光源有了，镜子造的出吗？ 39.9.250.185 07/15 19:12
45F：推 herochang: 还要研发？不都手刻嘛 114.136.246.92 07/15 20:31
46F：推 ax113: 又可以骗国家补助了 114.35.42.41 07/15 20:54
47F：推 derekjohn: 业内光是EUV雷射源当前版本光每台四座P 114.42.191.153 07/16 00:50
48F：→ derekjohn: A的调整参数就几千项外，加上软体是跟 114.42.191.153 07/16 00:50
49F：→ derekjohn: 曝光机整合，那个工程量根本不是用钱就 114.42.191.153 07/16 00:50
50F：→ derekjohn: 可以搞定的事 114.42.191.153 07/16 00:50
51F：推 Smile365Day: 没什麽好酸的，人家都可以做到火箭回 125.224.80.222 07/16 01:02
52F：→ Smile365Day: 收了 125.224.80.222 07/16 01:02
53F：推 callTM: ？ 台湾做一台不就不需要asml. 这篇是怎麽 104.32.94.114 07/16 01:40
54F：→ callTM: 回事？ 104.32.94.114 07/16 01:40
55F：推 user5566: 路透的原始内容根本不是这样写，讲白了 211.23.66.206 07/16 02:40
56F：→ user5566: 就是引用路透+加油添醋。 211.23.66.206 07/16 02:40
57F：推 garlic1234: 很好啊，中吹快去买中国股票 1.169.212.19 07/16 03:52
58F：推 OSDim: 大家要支持中国把钱投入这个领域ㄚhehe 42.79.38.244 07/16 13:24
59F：推 darkholy: prototype 做得出来已经够夸张啦 223.138.37.185 07/16 15:44
60F：→ kluwer2021: 已经很厉害了 114.137.88.161 07/17 08:22
61F：推 silver5566: 辽宁舰时也是一堆人说中国差很远，结 106.107.237.32 07/17 09:57
62F：→ silver5566: 果人家现在连电磁弹射都有了 106.107.237.32 07/17 09:57
63F：→ mainsa: 不是有掏定律惹 还研发过时的EUV干嘛 有 101.10.76.250 07/17 18:38
64F：→ mainsa: 时候就觉得他们大外宣真的废到笑 101.10.76.250 07/17 18:38
65F：嘘 pttnowash: 电磁弹射这种不切实际 还拿来让人笑 159.26.119.228 07/17 19:14
66F：→ pttnowash: 美国都慢慢回归蒸气弹射了 159.26.119.228 07/17 19:15
67F：→ pttnowash: 美国真是落後阿 大大落後於中国 159.26.119.228 07/17 19:15
68F：推 chino32818: ASML的专利护城河有这麽容易绕过吗@@ 111.240.95.170 07/18 02:00
69F：→ chino32818: ... 111.240.95.170 07/18 02:00
70F：→ pinkowa: 韬定律跟EUV又不冲突 没听过CFET吗?223.139.191.114 07/18 05:49
71F：→ pinkowa: 到底这里是科技板还是政治板? 不讲科学喔223.139.191.114 07/18 05:50
72F：推 thern: 在中国讲什麽专利，WHO CARE 118.170.186.97 07/18 06:10
73F：→ pinkowa: 专利是地方法，跨国专利生效是有前提的223.139.191.114 07/18 06:29
74F：推 kelune: 一堆弱智， 成天只看三民自； 这工艺干趴 1.170.18.140 07/18 08:05
75F：→ kelune: 非台积的晶圆厂够了。 以为台湾只有一间 1.170.18.140 07/18 08:05
76F：→ kelune: 晶圆厂 1.170.18.140 07/18 08:05
77F：→ water6: 台湾非台积晶圆厂早就被超越了…现在是ai+125.227.196.250 07/18 08:57
78F：→ water6: 非红供应链红利，中国做euv目的就是要前进125.227.196.250 07/18 08:57
79F：→ water6: 先进制程，对手只有台积，美国乾儿子有爸125.227.196.250 07/18 08:57
80F：→ water6: 爸撑腰不在同一个维度125.227.196.250 07/18 08:57
81F：→ gaowei16: 真的好强 101.10.94.118 07/18 10:31
82F：推 lavign: C919发动机都国产了 114.136.148.46 07/18 11:00
83F：推 squelch: 人家华为Hybrid bonding 技术跟设 101.8.91.7 07/18 14:14
84F：→ squelch: 备都是国产的，台湾设备反而都外国 101.8.91.7 07/18 14:14
85F：→ squelch: 的，宁可信其有 不可信其无 101.8.91.7 07/18 14:14