作者kiouy1001 (阿比)
看板comm_and_RF
標題[討論] ICP蝕刻金屬
時間Mon Dec 1 23:40:06 2014
本魯第一次來版上求助~
因為最近在做專題,是關於半導體製程
其中一項要用icp通cl2
但本魯最近翻了許多文獻
包括pt,Ti,Ni,Sio2,Au,Al...等,都沒有找到CL2比較不吃的金屬
因為是要用在Etch mask上
所以要找很硬,能阻擋cl2的
想請問強大的鄉名有知道甚麼特殊金屬嗎?
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1F：推 skyghostlove: 若金屬只是做遮罩用,建議Ni金屬,我 114.37.46.8 12/08 04:43
2F：→ skyghostlove: 之前在台大做ICP,拍SEM幾乎吃不動Ni 114.37.46.8 12/08 04:44
3F：→ skyghostlove: ,重點是我是用sputter濺鍍Ni才行, 114.37.46.8 12/08 04:45
4F：→ skyghostlove: e-gun的話有試過,但材質太軟,易被打 114.37.46.8 12/08 04:46
5F：→ skyghostlove: 穿.希望能幫到你 114.37.46.8 12/08 04:47
6F：→ skyghostlove: 之前做的材料是氮化鎵材質 114.37.46.8 12/08 04:47
7F：→ skyghostlove: ICP則是用氬氣與氯氣混合氣體來吃 114.37.46.8 12/08 04:49