作者kiouy1001 (阿比)
看板comm_and_RF
标题[讨论] ICP蚀刻金属
时间Mon Dec 1 23:40:06 2014
本鲁第一次来版上求助~
因为最近在做专题,是关於半导体制程
其中一项要用icp通cl2
但本鲁最近翻了许多文献
包括pt,Ti,Ni,Sio2,Au,Al...等,都没有找到CL2比较不吃的金属
因为是要用在Etch mask上
所以要找很硬,能阻挡cl2的
想请问强大的乡名有知道甚麽特殊金属吗?
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1F：推 skyghostlove: 若金属只是做遮罩用,建议Ni金属,我 114.37.46.8 12/08 04:43
2F：→ skyghostlove: 之前在台大做ICP,拍SEM几乎吃不动Ni 114.37.46.8 12/08 04:44
3F：→ skyghostlove: ,重点是我是用sputter溅镀Ni才行, 114.37.46.8 12/08 04:45
4F：→ skyghostlove: e-gun的话有试过,但材质太软,易被打 114.37.46.8 12/08 04:46
5F：→ skyghostlove: 穿.希望能帮到你 114.37.46.8 12/08 04:47
6F：→ skyghostlove: 之前做的材料是氮化镓材质 114.37.46.8 12/08 04:47
7F：→ skyghostlove: ICP则是用氩气与氯气混合气体来吃 114.37.46.8 12/08 04:49