作者coyoyo (yoyo)
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标题[请益] 石英振荡器 量膜厚
时间Mon Dec 7 19:36:14 2009
最近使用蒸镀机台 里面有装了石英振荡片
用来量测膜厚的
我想了解石英振荡片测膜厚的原理
因为想做一份这方面的报告
不过查到的资料 都很简短的只说到振荡频率和镀上去的厚度有关
或是说振荡频率会符合某某公式(给了一个公式)
我想知道的是
这些公式怎麽来的
不知我该如何得到这方面的讯息
网路上也找了 图书馆也去找了
真的没办法了
来这里请求各位大大罗
是否在某本书上有看过
或哪个网页有介绍
http://www.ic160.com/bbs/info/20071122220849.htm
这是我找到算比较详细的
不过 最初的公式怎麽来 我真的想不出来@@
绝对不是要把功课丢给大家
只是希望能在这获得一点点这方面的资讯
如果大大们 有这方面的一点点讯息
希望能提供给我知道罗
万分感谢^^
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※ 编辑: coyoyo 来自: 140.117.32.119 (12/07 19:37)
1F：推 wanttu:查压电公式 印象中是这样 12/07 21:15
2F：→ coyoyo:里面提到 AT切割的石英压力效应固有频率为1/22Qncfdp=... 12/07 23:16
3F：→ coyoyo:不知该如何得到这公式~~@@ 12/07 23:16
4F：→ wucy:记得可以用Surgery，可以由频率估算质量，但不知道如何估算 12/09 00:28
5F：→ wucy:的uniformity 12/09 00:29