作者wuchengyi (巫婆婆)
看板ChemEng
标题[制程] sol-gel 作SiO2薄膜的厚度
时间Sat Jan 30 00:43:47 2010
目前看到的sol-gel SiO2薄膜都接近100nm以上到几um，
想知道是否可以利用此法制作SiO2 的10nm薄膜？
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◆ From: 114.37.133.223
1F：推 kinraku:用CVD可以做1nm的说 01/31 22:33
2F：推 cougarchen:spin-coating 02/02 15:58
3F：推 yeh0906:可以做到10nm阿只是你想做成particle还是film的10nm 02/03 01:36
4F：推 akea:spin应该没办法吧... 02/03 17:33