作者ycc01 (ycc01)
看板ChemEng
标题[问题] 扫描式电子显微镜
时间Wed May 12 21:08:36 2010
请问每次操作SEM为什麽都要再添加液态氮?
我知道SEM内部的真空度要求非常低
如果没有加液态氮是否会发生真空度下不去的现象?(或是说要抽很久才会下去)
为什会这样?
液态氮跟真空度有什麽关西
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◆ From: 118.171.131.19
1F：推 YJM1106:低温气体密度高 抽起来比较有效率 05/12 21:16
2F：→ YJM1106:不过这边不是这个原因，是要把侦测器降温用的～ 05/12 21:20
3F：→ nick155555:是因为有EDX才加液态氮的~而不是因为SEM机台需加液态氮 05/12 21:24
4F：推 kriz:EDX detector需要冷却...主要是FEG type才会要求低真空度 05/13 12:25
5F：→ kriz:hot-fliament就随便一颗JEOL机械pump抽一抽就搞定了。 05/13 12:26
6F：→ kriz:TEM就真的需要液态氮冷却试片周边污染物的cold trap 05/13 12:27
7F：→ bbandbb:为了降低电子束激发所产生的热量，达恒温效果 05/13 15:09
8F：→ idkttn:SEM的液氮冷却线路是在最接近样品的镜头周围做冷却 05/13 19:19
9F：→ idkttn:主要是避免电子束能量造成样品有汽化现象後吸入主腔体内部 05/13 19:20
10F：→ idkttn:个人觉得低温也有助於提昇扫描後的清析度 05/13 19:21
11F：→ kriz:FE-SEM我用过的似乎没在物镜附近做冷却线路...你用的型号是? 05/17 00:47