作者likerain0229 (席恩)
看板ChemEng
标题[问题] 增加基材表面亲水性
时间Thu May 13 18:00:15 2010
想请问大家
当基材为
1 石英玻璃
2 矽基板
要怎样做清洁 然後还要做增加亲水性处理呢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 203.64.98.109
1F：→ honna:增加亲水性可用氧电浆处理 05/13 18:10
2F：→ YJM1106:酸洗 硫酸+硝酸 比例可以看文献 例如 3:1 05/13 19:39
3F：推 OhMyAlex:piranha solution 硫酸+双氧水 7:3 约100度煮一个小时 05/13 21:37
4F：→ OhMyAlex:乾净的矽晶片就超亲水了 接触角接近零度 05/13 21:38
5F：推 gone20080919:HF冲一下 05/13 22:12
6F：推 xcent:乾净的矽基板会超亲水？我每次用HF去氧化後，都是超疏水耶!? 05/15 12:36
7F：推 OhMyAlex:wafer表面有一层SiO2 SiO2超亲水 HF洗完剩Si 接触角~70度 05/16 11:58
8F：→ OhMyAlex:所以piranha也不能洗太久 一个小时就差不多了 05/16 11:59
9F：推 IZO:乾净的矽基板为疏水 因为Si为单键之饱和键结 05/16 22:18
10F：推 OhMyAlex:正常wafer表面都会有一层氧化 把表面脏污洗去就亲水 05/16 23:14
11F：→ OhMyAlex:玻璃也是用piranha洗 洗完亲水性也很高 表面形成水膜 05/16 23:15
12F：推 MrZacky:用氮气电浆也很有效!!! 05/28 21:38