作者gh20502 (可不可以不要上班)
看板ChemEng
标题[问题] 镀膜用的靶材
时间Fri May 21 15:24:48 2010
近期在研读溅镀用靶财的相关事项...有几个部份很不了解想来问问各位版大
1.一般来说镀上单层薄膜的话主要用途是在防腐蚀、耐高温、增加磨耗……等等
多层膜一般用在光学材料，但如果要镀多层的话
靶材的使用是要用两块不同性质的靶材去打，还是一块靶材就可以达到所有需求...
(像是一块靶材可是有多层去打这样)
2.通常会依照自己需要镀的薄膜需求来选择靶材，可是要怎麽知道这个靶材打出来的
薄膜比其他的靶材打出来的好？有什麽讯息可以去查询吗？
麻烦各位大大解答了!!
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███ ξ 总在每一次思念缭绕後才这麽说着
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◢◤◢﹨> 『是该戒掉了...』
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◆ From: 114.33.51.167
1F：推 GSG9:1.多层膜应该是用多块靶材 单一靶材要怎麽做到多层效果?? 05/21 22:33
2F：→ GSG9:就算单一靶材有多层 光制程控制就是让人疯了.... 05/21 22:34
3F：→ GSG9:2.最简单且直接就是两个镀出来的膜直接去分析 05/21 22:35