作者narutoo (RORO一定要帮我)
看板ChemEng
标题[问题]薄膜热应力
时间Sun Jun 20 06:37:15 2010
基板与薄膜热膨胀系数差异在冷却到室温时会造成热应力
此热应力大小与薄膜厚度是无关的
但膜厚越厚也会造成bending moment越大
小弟的问题是
热应力在不同膜厚的状况下
会造成晶格常数有些微差异而能够在XRD中观察出来吗
或者小弟观念上有错误
希望板上各位先进不吝指教 能帮小弟解惑
谢谢~~~
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 134.208.4.29
※ 编辑: narutoo 来自: 134.208.4.29 (06/20 06:38)
※ 编辑: narutoo 来自: 134.208.4.29 (06/20 06:39)
※ 编辑: narutoo 来自: 134.208.4.29 (06/20 06:40)
1F：→ kriz:可以阿，不过你的光源要够强够乾净，去同步借一条线用吧。 06/21 12:25
2F：推 Dennynyo:我记得有应力的话XRD的峰值会稍微偏移 (某篇PAPER) 06/21 22:47
3F：→ narutoo:所以热应力在不同"膜厚"的确会有不同影响吗 06/21 23:16
4F：→ kriz:抱歉，"些微"差异的话，可能要用FIB切试片看TEM。 06/23 00:02
5F：→ yen21:要看是不是均匀变形 均匀的PEAK会偏移 不是的话PEAK 会变宽 06/23 11:36