作者wang0719 (麦子)
看板ChemEng
标题[问题] 热膨胀系数
时间Thu Jul 1 16:23:15 2010
我遇到一个问题
我要sputtering 两层薄膜
但在退火的完以後膜裂掉了
结构是lsmo/pt/TiN/Ti/SiO2/Si
退火速率每分钟20度
lsmo的热膨胀约12
pt约9
这样子为什麽退火完以後薄膜还会裂掉呢??
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 210.240.249.242
1F：→ yen21:几度? 热应力太大吧 07/01 17:40
2F：→ wang0719:回楼上~600度 07/01 18:43
3F：→ Dennynyo:升温速率慢一点? 或是取出时温差太大? 07/01 19:04