作者springXrain (QQ)
看板ChemEng
标题[制程] 高分子进行旋转涂布後膜厚的量测方法?
时间Fri Jul 9 15:34:54 2010
我之前测膜厚的方法
是在要涂布的元件一侧贴上3M的贴纸 然後进行旋转涂布
接着把贴纸撕开 用测膜机(α-step)量测膜厚
可是量的时候发现原贴纸与膜的交接处会发生堆积现象
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堆积的地方
导致实验数据不准
请问有更好的测量膜厚方法吗?
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.129.9.33
1F：推 afunism:算厚度时不要考虑高起来那部份就好啦 07/09 17:07
2F：推 xcent:α-step可以调整扫描的长度，调长一点，高起来的不要算就好 07/09 17:19
3F：→ springXrain:了解~~谢谢两位^^ 07/09 18:35
4F：推 Dennynyo:贴纸的黏胶不会附在基板上吗 @@? 07/09 18:41
5F：→ springXrain:会~~我学长是叫我用丙酮清洗 07/10 13:49
6F：→ chenyppl:如果薄膜厚度不是非常厚 可以试试椭圆仪 07/11 01:36
7F：→ leox243:有些N&K会建有光组参数，可以试试 07/14 11:44
8F：→ leox243:椭圆仪的话之前才被NDL的工程师说膜太厚(100nm)很难fit XD 07/14 11:45
9F：→ chenyppl:真的吗 楼上 可以拿sample给我 我帮你试试 07/15 00:13
10F：推 leox243:真的吗XD 我下下礼拜还要送一批去NDL量 到时顺便请你试试 07/17 14:45
11F：→ sin30:范围量大一点，一般堆积应该会有小山峰(如左--^--)， 07/17 21:07
12F：→ sin30:就量小山峰的两侧~~~ 07/17 21:08
13F：→ sin30:有afm也可以扫啦~~不过是大材小用 07/17 21:10