作者hodancebear (原PO不是帅哥揪咪^.<)
看板ChemEng
标题[问题] 微影制程负光阻
时间Wed Jul 21 16:30:49 2010
请问各位版大
目前有哪种负光阻可以适合用在玻璃上
小弟目前用SU8负光阻曝光显影之後
玻璃上面完全看不出有任何光罩的pattern
但用在wafer上看的到pattern
不知是否有推荐的负光阻或厂商
可供告知感激不尽!!
另外有人会使用Ansoft Designer这套软体吗?
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「怎麽你还没毕业？」的表情。
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◆ From: 120.105.3.235
1F：推 xcent:大部分的光阻应该都可以用在玻璃上吧，会不会是条件没抓好？ 07/21 17:35
2F：→ hodancebear:那请问哪种负光阻比较有颜色，还是几乎都是透明的?? 07/22 16:33
3F：推 teardropbox:加染剂进去 07/25 22:11
4F：→ hodancebear:请问可以加哪一种染剂?我对这方面不太了解抱歉 07/26 12:49