作者leox243 (LEOX)
看板ChemEng
标题[问题] 请问那些金属烧结後会聚集成球状或是岛状
时间Mon Sep 13 12:52:34 2010
最近要做微遮罩，本来要用PS球来做，不过好像不太适合
所以转而用金属来做
基板是SiOx或是Si，想在上面镀上金属後加温，让金属聚集成岛状或是球状来当遮罩
之前试过金，可以靠温度和厚度的不同达成目的，
也试过铝，但是铝就没办法，SEM下面看不出来有岛状或是球状
用金会有两个问题，第一很容易和Si共晶，第二很贵 囧rz
想问问还有哪些金属在加温後(1000度C以下)可以在我的基材上形成岛状或是球状的结构
想形成的尺度大概在50nm~1000nm之间(之前我做金可以在50nm到300nm左右)
m(_._)m 先在这边感谢各位版友看完我的问题
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◆ From: 140.116.201.59
1F：→ xcent:锡 也许可以...但不确定形成尺度... 09/13 17:32
2F：→ leox243:锡...倒是没想过 改天来试试 THX 09/14 16:21