作者Hrich (那年夏天的回忆录)
看板ChemEng
标题[问题] SEM原理
时间Sun Oct 17 21:40:59 2010
最近翻阅了SEM的原理
里面提到SEM试片要求必须是导体
否则应该在表面镀上一层金
又强调不可是液体或胶状物质
我们公司有在使用CD-SEM
可是CD-SEM却可用来观察晶圆上的光阻影像
光阻是液体状的，也不导电
却不要求需是导体或镀上一层金
这是为甚麽呢
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 61.216.201.7
1F：推 ouo:试片不导电在常态的SEM下是不能看的 10/18 22:54
2F：→ ouo:那台应该是有低真空系统吧...导入带电水蒸气离子当导电用.. 10/18 22:55
3F：推 boster:这种CD-SEM会通入Ar..再让Ar带电後..撞击後产生二次电子 10/22 22:13
4F：→ A77103163:镀上一层碳也行 你镀金太贵了 10/25 13:37