作者nashisaman (阳光柚子)
看板ChemEng
标题[材料] 请问关於Sputtering的问题!!~~
时间Sun Dec 19 14:56:59 2010
如果我现在要Nb-doped TiO2
请问一般来说
镀膜时间要怎麽去推算出来呢?才不会太过头~~
我只知道要考虑溅镀率及一些反应性气体的内容等等
还有其他方式可以推得吗?
想知道比较明确的算法~~
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◆ From: 134.208.38.50
1F：→ log100:实际镀才知道吧 ~~ 12/24 02:10
2F：推 milord:多镀几次~ 量量膜厚~ 看学长有没有打过~ 没打过自己try 12/26 16:36
3F：→ milord:算再多次也是骗人的... 实验跟理论是... 有点差距的QQ 12/26 16:37