作者hedonist891 (hedonist)
看板ChemEng
标题[材料] 请益有关KOH的蚀刻技巧
时间Thu Feb 3 22:28:06 2011
各位先进好@@
小弟在专题上遇到一个困难，想跟版上的先进讨教一下
就是我想要作出像这张图的渠道
http://ppt.cc/leVB
就是图中绿色被KOH吃掉的等向性蚀刻(我是要吃SiO2)
我自己试过用胶带贴住不要被蚀刻的区域丢到KOH的溶液中
结果胶带会跟SiO2分离，最後是整块SiO2浸在溶液中
我是想问阿，paper都写利用KOH吃出这种渠道状的结构
但我想知道除了利用KOH当蚀刻液外，还需要搭配甚麽方法才能吃出这样的结构？
我有猜是利用光阻来挡住不要被蚀刻的部分，但是这样是不是就要作一个光罩了@@?
请版上先进解答小弟的疑惑
并祝新年快乐！
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 114.37.172.219
1F：推 bla:试试看用silicone感压胶做的胶带 02/04 11:19
2F：→ bla:一般压克力感压胶黏不住以矽为主成分的被贴物 02/04 11:20
请问有推荐的牌子吗@@?
因为我应该会把SiO2放到85度的KOH溶液中，然後我刚才查了wiki的介绍
他说一般PSA tape是在室温下使用的，所以我怕他无法耐高温(且耐硷)
所以想问有没有推荐的牌子，我去查询一下这样
谢谢你的回答~~
※ 编辑: hedonist891 来自: 140.114.253.80 (02/04 15:51)
3F：推 wilson64:3M有一种绿色的胶带，可耐酸硷，不过不便宜~ 02/08 13:09
4F：推 quaintness:图中绿色是Silicon，这是"非等向性蚀刻" 要蚀刻除了KOH 02/08 22:32
5F：→ quaintness:还有TMAH or EDP, 抗酸硷胶带及光阻可以不用试了, 结果 02/08 22:33
6F：→ quaintness:会是胶带泡在KOH也不会烂掉,但蚀刻失败，光阻泡下去也 02/08 22:34
7F：→ quaintness:是污染蚀刻液而已没有用.. 02/08 22:35
8F：→ quaintness:土黄色是SiO2或是Nitride, 蚀刻穿通常就是Nitride 02/08 22:37
9F：→ quaintness:专题生下一道光罩应该不过份,至少是比较正常的作法○rz 02/08 22:37
10F：→ quaintness:最後 要吃SiO2?! 确定有晶格吗 02/08 22:38
11F：推 Numbbreak:那叫 酸硷胶带 02/08 23:22
12F：推 quaintness:那叫 耐酸硷胶带 或 抗酸硷胶带 吧...报价单还没看到过 02/10 01:57
13F：→ quaintness: 酸硷胶带 ○rz ... 02/10 01:57
14F：→ leox243:其实塑胶光罩很便宜...... 02/16 10:28