作者Dennynyo (尿尿)
看板ChemEng
标题[问题] 关於截面观察厚度的问题
时间Thu Apr 7 12:57:14 2011
如题所示
小弟我在wafer与Fe基板上溅镀3层薄膜
虽然利用wafer可以轻松的观察截面分层厚度
不过考虑到不同基板对厚度多少都会有影响
而且结晶性可能会不相同
故以在wafer上观察到的厚度做定论可能不严谨
我也尝试过将试片作冷镶与热镶然後研磨抛光
不过看出来的截面真是惨不忍睹
有听人家说要用"无电镀镍"在镀层上面形成保护层再研磨
可是问了很多厂商都表示查不到这东西(?)
也想试用Auger做纵深分析
但是因为我的基板会被磁铁吸引怕不能进腔体
直接泡液氮然後敲碎的方法也试过
不过看不出来效果...
不知各位先进对於截面的厚度观察有何心得?
以及解决不同基板问题的有效方法?
谢谢各位 ^^
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◆ From: 120.105.129.33
1F：→ Dennynyo:分层大约为200+200+440 nm 04/07 12:58
2F：推 yangono:AFM 04/07 14:35