作者silicon123 (宏爷)
看板ChemEng
标题[问题] 想请问溅镀相关问题
时间Fri May 6 23:47:38 2011
想请问各位板大
是否有听过铁氟龙靶材
学名是四氟聚乙烯
简称PTFE
请问这种靶材要去哪里买
直接用电浆打出来的就是 TPFE film 吗
还有听说高分子材料若进腔体会污染然後无法清除
就是连刷都刷不掉吗
麻烦有经验的板大分享
谢谢
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 118.166.195.129
1F：推 angor:怕污染通常会先在腔体内贴铝箔吧? 第一次听过铁氟龙靶,酷!! 05/07 00:17
2F：推 shy723:我也第一次听... 05/07 01:00
3F：推 lu5566:我只知道金属钯材.... 05/07 01:26
4F：推 leox243:铁氟龙竟然可以当靶...镀出来不会掉膜吗 05/07 17:13
5F：推 gamesame7711:我只听过复合陶瓷 跟金属 真的有高分子的靶!? 05/07 21:11
6F：推 phohq:的确有喔 之前看过相关paper 05/08 01:17
7F：→ silicon123:我是看过有人有用过~所以才想尝试~不过不知道到底是不 05/08 16:36
8F：→ silicon123:是用电浆就可以打出film还是还要再添加氟类气体~ 05/08 16:37
9F：推 IZO:用电浆就可以打出film,但功率不能太高 否则Teflon会软化 05/13 14:44
10F：→ IZO:可以镀成疏水膜,但附着力不好 05/13 14:47
11F：→ IZO:绝缘靶,用RF power吧 05/13 14:49
12F：→ silicon123:附着度不好吗? 05/13 21:46
13F：→ silicon123:I大有做过类似的实验吗~如果有可以请教I大这方面相关 05/13 22:02
14F：→ silicon123:的知识以及依些注意事项吗^^ 05/13 22:03
15F：推 ppppanda: 怕污染 使用铝箔纸包覆腔体 用丙酮清 140.127.25.204 08/25 11:19