作者silicon123 (宏爷)
看板ChemEng
标题Re: [问题] 想请问溅镀相关问题
时间Fri May 13 22:00:57 2011
感谢各位版大分享的经验
另外还想请教各为是否有看过或有用过两支RF Gun同时溅镀吗
因为听很多人讲说两只RF同时打电浆会互相干扰
还有两只Gun的距离太近是否也会互相干扰(还是跟这没关系)
不知道是否有什麽解决办法可以解决两支RF电浆互相干扰的问题
因为小弟需要用的两个靶材都是绝缘靶
再次感谢各位大大的分享
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.124.32.3
1F：→ yen21:1.cosputter很多 2.会 WD要try 3.124校友推 05/14 02:10
2F：→ gamesame7711:共溅镀!? 05/14 15:29
3F：推 IZO:将power锁相,或是去调整电览线长度以改变相位,请设备商弄最好 05/14 15:31
4F：推 IZO:主要是RF干扰的问题, 跟gun的距离没关系 05/14 15:37