作者youmissi (youmissi)
看板ChemEng
标题[问题] HF
时间Thu Jul 7 09:27:20 2011
请问一下
氢氟酸溶液会吃金属镍(膜)或者金属钨吗?
一般而言
氢氟酸溶液大多当作酸洗液
是用来去除什麽物质呢? 油性物质吗?
谢谢回答
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◆ From: 113.229.12.134
1F：推 john18575:刚好我再做这一块,一般纯镍与HF的反应温度在400C以上 07/07 09:47
2F：→ john18575:不过因为镍氧化速率很快,放在空气中很快形成氧化膜 07/07 09:48
3F：→ john18575:我查过很多资料,几乎找不到HF+NiO 07/07 09:58
4F：→ john18575:HF常用来洗Si晶圆,为的是去除表面的氧化物质 07/07 09:59
5F：→ john18575:镍膜在常温下与HF几乎不反应,80C以下是安全范围 07/07 11:34
6F：推 gamesame7711:etch SiO2 07/07 17:48