作者oscar0513 (浓)
看板ChemEng
标题[问题] 关於磷扩散之矽蚀刻的疑问
时间Fri Aug 19 23:30:57 2011
如题~有强者知道为何在磷扩散的wafer上，使用高浓度硝酸混微量HF，会产生颜色的
原因吗? 不知道该如何解释才好QQ
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 218.160.129.112
1F：→ john18575:你去测EDS,先看表面元素成份,推测不同金属离子产生颜色 08/19 23:35
2F：→ mcgradychung:微量是多微? 硝酸会氧化矽 尤其n掺杂的氧化更快 08/20 01:05
3F：→ mcgradychung:若蚀刻小於氧化 应该有氧化层 但靠硝酸氧化到有颜色 08/20 01:08
4F：→ mcgradychung:好像又有难度... 08/20 01:08
5F：→ oscar0513:谢谢!! 08/21 09:58
6F：→ oscar0513:我猜可能产生一些microstruture 08/21 10:01
7F：推 PDADDY:楼上正解 08/22 10:17
8F：→ mcgradychung:XD 自问字答吗 08/22 16:20
9F：→ mcgradychung:若是有微结构 我很好奇怎麽造成的... 08/22 16:21
10F：推 gamesame7711:我没做过磷扩散再蚀刻 08/24 02:06
11F：→ gamesame7711:不过在未扩散前 去蚀刻的话 会吃出一些C的样子 08/24 02:07
12F：→ gamesame7711:尔後我在拿去做磷扩散 也产生彩色样 08/24 02:08
13F：→ theknight:跟磷应该也有关系吧 09/09 00:36