作者gamesame7711 (框框)
看板ChemEng
标题[问题] 关於SEM如何拍到铝片清楚的截面图
时间Wed Nov 30 19:55:36 2011
各位资深前辈好
目前老板派给我的工作是有关於阳极氧化铝的实验
我们是使用商业用的铝片进行电化学加工
目前为止实验大致上顺利
但重点来了
由於铝片的延展性很高 在切割试片时会因为铝片的机械性质之形变 将截面结构破坏掉
(我们使用过剪刀、裁纸机、斜口钳，也使用液态氮低温处理後再进行切割)
但都无法完美的拍出阳极氧化铝模板的SEM截面结构(看到模板的成功率很低)
PAPER有诸多商业用铝片进行阳极氧化铝的研究 截面都拍得很棒
但并没有对於在拍摄SEM制作试片时 做过多的描述
我们实验瓶颈就卡在这...因此想询问
有没有能在 不会因为金属延展性的情况下
拍到阳极氧化铝模板截面的SEM方法?
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 203.68.164.70
1F：推 greg60711:focus ion beam ?140.112.172.119 11/30 20:12
我们没有...= =
2F：推 DUGONG:阳极氧化铝模板通常都很脆吧?没吃穿吗? 119.14.200.237 12/01 01:13
并没有吃穿 目前只做几个小时 想观察改变一些参数後会得到什麽结构
3F：推 YJM1106:雷射 114.32.140.100 12/01 01:36
这个会列入考虑
4F：推 silicon123:镶埋?118.168.115.216 12/01 02:12
不是@@~
感谢以上几位资深前辈给的意见!!!
主要是切截面切不成功 不晓得除了雷射 水刀 还有没有其它方法?
5F：推 DUGONG:所以铝片是故意要留下来的吗?把铝移除呢?140.116.234.243 12/01 17:17
我们的铝很厚 模板很薄约1um(制程时间短)
※ 编辑: gamesame7711 来自: 203.68.164.32 (12/01 18:07)
6F：推 IZO:Al会很厚吗?可以弯折的话,弯哲後去观察凸面 140.116.159.64 12/02 17:52
7F：→ IZO:我以前是用此方法看AAO cross section 140.116.159.64 12/02 17:54
8F：→ IZO:"发夹弯"的凸面 140.116.159.64 12/02 17:55
9F：→ aerosck:镶埋+慢切机+研磨 1.169.159.72 12/04 11:54
10F：→ gamesame7711:我们这次试试看 谢谢各位前辈 111.255.68.149 12/05 20:58