※ 引述《FEIASK (FEI)》之铭言： : 如题 今天去拍了场发射电子显微镜 有一些问题想要发问 : 1. 想请问sem有个附件桶子 是要加液态氮的 : 请问那液态氮是要干嘛用的? 那个好像是跟edx的侦测器连在一起的 : 是要降低edx的侦测器温度吗? 液态氮桶是冷却用在打EDX时X-ray Detector需要在极低温度下始可操作 ；另外二次散射电子会有多余的热!也可利用LN2冷却 : 2. 我看操作员在拍的时候 有调整probe current : 听操作员说是电子束电流 请问这电流是跟灯丝电流有什麽关系? : 因为之前去拍热游离的sem是直接把电流强度设定在第二个高峰 : 这种的是直接调完灯丝电流後 就可以拍了 并没有可以调整电子束电流 : 是场发射这种sem才能调吗? 电子束电流参数与影像品质相关 电子束电流越大，电子束直径越大(试片易受损) ;反之则相反，但此参数仍需交互考量其他参数如: 加速电压大小， 工作距离 PS. 一般来说实验室通常不会给人调电子束电流 (有点像原厂设定)随使用时间多 电子束电流会变小，届时再叫厂商来换修调整 : 3. 我看操作员把灯丝电流设定在10uA : 是有没有那麽精准 我问他能不能再把灯丝电流加上去 他说不行耶 主要原因是灯丝电流达一阀值(可操作点)时，电子束电流将不会再上升 加大灯丝电流只会 做多做热功 减少灯丝寿命，一般来说此参数值随机台设定而定 另一种说法与２.交互应证即:当电子束电流随使用时间变小时，也可适当调整灯丝 电流，使照片影相品质不受长时间使用影响 : 奇怪了 因此想上来问问看 : 以上几个问题 麻烦大家多指教 我是这方面的外行人 拜托打大家指导了 感谢! --

※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc) ◆ From: 122.123.101.210